單晶石墨熱場的性能優(yōu)勢
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發(fā)布時間:2025-09-01 03:14:41
單晶石墨熱場的功用優(yōu)勢
耐高溫功用:石墨熔點(diǎn)達(dá)3650℃,可在真空或惰性氣體環(huán)境中長期安穩(wěn)作業(yè)。
導(dǎo)電與機(jī)械強(qiáng)度:抗壓強(qiáng)度≥80MPa,兼具導(dǎo)電性與結(jié)構(gòu)安穩(wěn)性,適配大標(biāo)準(zhǔn)單晶爐(如36英寸以上硅棒出產(chǎn))。
化學(xué)惰性:耐酸堿腐蝕,避免與熔融硅反響生成碳化硅雜質(zhì),保證單晶硅純度。
本錢效益:等靜壓石墨代替?zhèn)鹘y(tǒng)鎢鉬加熱器后,能耗下降30%,同時延長熱場使用壽命,下降綜合出產(chǎn)本錢。
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